七星氣體質量流量計套件由質量流量計，流量顯示器組成。量程范圍廣，從2SCCM~2000SLM可任意選擇。產(chǎn)品應用質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
氣體質量流量計連接圖
氣體質量流量計側面圖
氣體質量流量計顯示★高性能價格比★橡膠密封、模擬電路的MFC★管狀分流，使用壽命長
產(chǎn)品型號 定制 產(chǎn)品類型 普通型,抗電磁干擾 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 產(chǎn)品精度 ±1.5％F.S. 重復精度 ±0.2% FS 線性 ±1％F.S. 響應時間 ≤10sec 工作溫度范圍 (5~45)°C 耐壓 3MPa 密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene 輸入輸出信號 (0~5)VDC 電源 ±15V 閥類型 常閉 溫度系數(shù) 零點飄移指標 - 無 - 電氣連接 D sub 15 pins Female 工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） 標準接頭形式 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 表面化學成分 - 無 - 表面粗糙度 - 無 - 抗電磁干擾 CE 重量 1.1Kg
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